1、进入洁净室之前，预先清洁仪器、人员以及零件;
2、用可控的多级压力、温度和湿度控制装置密封建筑;
3、HEPA过滤;
4、增强工艺以减少颗粒/沉淀物的产生;
5、保护性外衣;
6、清洁;
7、双门配置将相邻的空间分开，包括运送和接收区域。
在将关键空间设计为分级的洁净室是合理的。
矢量洁净室：在房间的侧上角送风，采用扇形过滤器，也可以用普通过滤器配扇形送风口，在另一侧的下部设回风口，房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级（100级）洁净度。
有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。
不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。
减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。
为了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。